氦质谱检漏仪应用

上海伯东 Adixen by Pfeiffer 普发真空授权代理商, 代理 Pfeiffer 真空产品20年. 协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 主营产品氦质谱检漏仪, 氦质谱检漏系统, 磁悬浮涡轮分子泵, 旋片真空泵, 干式真空泵等广泛应用于真空相关各个行业.

普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪通过2种检漏模式, 真空法或吸枪法可准确定位, 定量漏点. 典型检漏应用例如: 电厂检漏, 热管检漏, 锂电池检漏, 镀膜机检漏, MOCVD 检漏和制冷行业换热器检漏

氦质谱检漏仪燃料电池车载供氢系统检漏

氦质谱检漏仪 ASM 340 客户案例: 应用于氢燃料电池车的车载供氢系统检漏, 氢气储存于 35Mpa 或 70Mpa 高压气瓶中, 单个气瓶泄漏出的氢气浓度需要小于 6 ppm, 采用正压法检漏. 漏率设置 1x10-6 mbal l/s.

氦质谱检漏仪 EUV 光刻机检漏

氦质谱检漏仪 ASM 310 客户案例: 半导体用光刻机检漏, 整机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空. 采用负压法检漏. 漏率设置 5x10-11pa m3/s.

氦质谱检漏仪激光器零件检漏

氦质谱检漏仪 ASM 390 客户案例: 应用于航天领域的激光器零件检漏, 中空夹层设计, 仅在两端焊接密封, 真空模式下, 焊缝处漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.

氦质谱检漏仪热交换器检漏

氦质谱检漏仪 ASM 390 客户案例: 对应用于工业的体积 >1000L 的热交换器进行检漏, 真空模式下, 漏率要求 1x10-6 mbar l/s.

氦质谱检漏仪六氟化硫密度表检漏

氦质谱检漏仪 ASM 340 客户案例: 应用于变电站监测高压开关六氟化硫是否泄漏的密度表, 根据不同工况对密度表进行正压或负压检漏. 负压模式下,漏率要求 10E-9mbar l/s.

氦质谱检漏仪中压开关柜检漏

氦质谱检漏仪 ASM 340 客户案例: 应用于电力行业的中压开关柜, 中压开关柜内部吸合开关检漏, 漏率 <1x10-7 mbar l/s, 采用真空模式检漏

氦质谱检漏仪电厂检漏应用

氦质谱检漏仪 ASM 340 客户案例: 对电厂管道, 汽轮机, 冷凝器等进行检漏, 吸枪模式下, 漏率值要求 10-6 mbar

氦质谱检漏仪红外探测器杜瓦封装检漏

氦质谱检漏仪 ASM 310 客户案例: 内部集成红外探测器的 2m3 杜瓦封装器件, 应用于火星探测项目, 杜瓦封装器件采用真空模式检漏, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s. 选用前级泵为干泵的便携式检漏仪 ASM 310.

氦质谱检漏仪 CVD 钻石长晶炉检漏

氦质谱检漏仪 ASM 340 D 客户案例: 应用于 CVD 人造钻石生产设备长晶炉检漏, 采用负压法对 Seki 长晶炉设备真空腔和气体供应系统进行检漏, 漏率设置 1x10-8 mbal l/s.

氦质谱检漏仪 5G 基站用连接器检漏

氦质谱检漏仪 ASM 340 客户案例: 应用于 5G 基站铜连接器检漏, 真空模式下, 漏率 5x10-11pa m3/s

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