HVA 矩形阀 88200 系列
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HVA 矩形阀 88200 系列

HVA 矩形阀 88200 系列
上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200 系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀, 可靠使用寿命超过1百万次. HVA 矩形门专用于真空相关系统, 起隔绝真空压力的作用. HVA 矩形阀外形尺寸小, 设计紧凑, 可靠应用于生产线与过渡腔室 load-lock chamber 过渡腔室 load-lock chamber 与传输系统handling system, 传输系统 handling system 与工艺腔室 process chamber 等等需要分隔真空压力的地方.

 

HVA 88200 系列矩形阀产品特点
1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末,颗粒,防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口,或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下

HVA 矩形阀 88200 系列技术参数

连接形式:

标准或定制法兰

主体材料:

公称通径:

DN32*222 mm-DN50*336

DN32*222 mm-DN100*1250

漏率:

2x10E-9 AtmCC/Sec

压力范围: 

1x10E-9 Torr

烘烤温度:

《150℃

适用介质:

水、蒸汽、空气

密封形式:

软密封型

驱动方式:

气动

使用寿命:

1000000 启闭次数
 


HVA 矩形阀 88200 系列部件图



上海伯东美国 HVA真空阀门中国总代理!  HVA 是美国最大真空阀门制造商, 在美国有超过四十年的历史, 拥有 6万平方英尺的全自动无人加工工厂, 美国HVA 提供高质量, 准确, 客制化的插板阀矩形阀. 无论是生产线升级, 还是新设备制造, HVA 都能提供经济有效的真空阀门解决方案, 其中超高真空闸阀已广泛应用于半导体气体管路和各类真空设备中!与友厂真空阀门对比, HVA 真空闸阀常规保养只需更换密封圈, 维护更加方便迅速!

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