Polycold PFC-552HC,PFC-672HC,PFC-1102HC 水汽深冷泵/冷冻机
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Polycold PFC-552HC,PFC-672HC,PFC-1102HC 水汽深冷泵/冷冻机

Polycold PFC-552HC,PFC-672HC,1102HC 冷冻机
上海伯东 Polycold 快速回圈水汽深冷泵(冷冻机)采用 Polycold 公司低温冷冻技术,其工作原理依然是麦斯纳(Meissner)吸收原理。使水汽分子在低温盘管(Cryocoil)的超低温表面上凝结,从而达到捕集水汽的目的。这种低温盘管(Cryocoil)直接装在真空腔体内,系统不再受接头、进气管、阀和挡板等冷传导的影响,低温盘管的安装不需要高真空阀,可在任何系统中方便地进行。

Polycold 快速水汽深冷泵运作原理:
Polycold Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速回圈水气低温泵-冷冻机 (PFC)。PFC低温冷冻技术,其工作原理是利用麦斯纳(Meissner)吸收原理,使水气分子在低温盘管(Cryocoil)的超低温表面上凝结有效地夺取水蒸气,通常在高真空系统(High Vacuum)内残余气体最主要是由 65% 到 95% 的水气分子组成,水气分子是最典型地具有副作用的污染气体。Polycold 系统可把水气快速地从真空系统中抽除,能为您缩短抽真空的时间达 20% 到 100%,提高产量以及产品品质,赚取更高的利润。

Polycold 快速回圈水汽深冷泵产品应用领域:
Polycold 公司拥有优越以及领先的冷却技术,可应用市场非常广范- 从半导体(semiconductors),太阳能薄膜制程 (Thin Film Solar Processes),光纤市场(optical networking),平板显示(flat panel displays),光学镀膜(Optical Coating、卷绕镀膜(web coating),装饰镀膜(decorative coating)。探测器冷却(detector cooling)技术可应用在航空(aerospace), 望远镜(telescopic), 以及实验室设备(laboratory requirements)。
我们提供最新技术的完整冷却方案,帮忙客户减少生产费用, 改进制程表现, 提高工作场所安全和增加生产可靠性。

Polycold  PFC-552 HC,PFC-672 HC,PFC-1102 HC 冷冻机技术参数:

型号

550 HC
(已停产)

552 HC

670 HC
(已停产)

672 HC

1100 HC
(已停产)

1102 HC

标准性能

最大负载
watts

1000

1000

1500

1500

3600

3600

最大抽速
l/S

74,500

74,500

104,300

104,300

298,000

298,000

极限真空
mbar

3X10E-9

3X10E-9

8X10E-9

8X10E-9

4X10E-8

4X10E-8

起始工作压力 atm

1

1

1

1

1

1

除霜时间min

4

4

4

4

7

7

低温盘管,连接管路

盘管表面积 m2

0.5

0.5

0.7

0.7

2

2

单管路 PFC

盘管直径
mm

12

12

16

16

16

16

每一盘管长度 m

13.3

13.3

14

14

40

40

双管路 PFC/PFC

盘管直径
mm

10

10

12

12

16

16

每一盘管长度 m

7.96

7.96

9.28

9.28

20

20

最大功率
KW

6

6

8.3

8.3

19.2

19.2

电压 V

200

200

380

380

380

380

噪音

71

71

72

72

81

81

占地空间M3

13

13

16

16

27

27

重量 kg

408

408

478

478

544

544

Polycold  PFC-552 HC,PFC-672 HC,PFC-1102 HC 冷冻机产品优势:
1. 温度可到 -100℃ to -150℃。
2. 最大吸附热量为 3600 Watts。
3. 最大水汽抽气速度为 200,000 l/s,真空可达到 1.5*10E-12 torr (2*10E-12mbar)。
4. 提供快速的抽水汽速度,在高真空系统中可缩短 65%-95% 的抽气时间。
5. 使用绿色环保无氟冷煤。
6. 在高真空系统中吸附水汽,缩减抽真空时间多达 25% -75%。
7. 高速水汽抽气速度从 100,000l/s 到 200,000 l/s
8. 提高您现有真空系统生产能力的 20% 到 100%。
9. 改善镀膜的品质,提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。
10. 降低生产成本。
11. 效果优于液态氮。
Polycold  PFC-552 HC,PFC-672 HC,PFC-1102 HC 冷冻机连接设备方式

美国 Brooks 旗下 Polycold ® 冷冻机(水汽深冷泵),超过40年的冷冻机设计制造经验。Polycold 冷冻机辅助抽真空,适用于收集高真空腔体内残余水汽和油气并显著提升产能和镀膜质量。Polycold 冷冻机广泛应用于光驰、欧瑞康、Applied 等镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 Polycold 冷冻机代理,全权负责 Polycold 销售.

 

Polycold PCC 紧凑型深冷泵
上海伯东代理美国 Polycold PCC 紧凑型深冷泵, 采用新一代 CryoTiger® 技术, 不需要液氮制冷, 可重复使用降低企业成本, 占地面积小, 低振动排热系统能够保持温度低至 -203ºC。

Polycold PCC 紧凑型深冷泵组成:
Polycold PCC 水汽深冷泵

A. 冷却端 *
B. 制冷压缩机
C. Gas Lines:
D. 冷媒(混合制冷剂)
* 可选标准型或高性能
polycold PCC 紧凑型深冷泵
Polycold PCC 紧凑型深冷泵功能特点:
耐用的低振动冷却端, 任意方向使用
紧凑设计, 占地面积小
快速降温, 冷却至 -203°C
闭式循环压缩机, 它使用气体混合工艺和创新油污管理, 静音设计
不需要液氮制冷, 可重复使用降低企业成本

Polycold PCC 紧凑型深冷泵技术参数:

 参数

 标准冷却端

 高性能冷却端

 重量 KG

 1.5

 1.8

 真空绝缘要求 torr

 ≤ 10-4

 ≤ 10-4

 烘烤温度

 100°C

 100°C

 制冷性能

 冷却时间(不加负载)

 NF blends*
 
NF-55: -55°C 7分钟
 NF-50: -89°C 11分钟
 NF-48: -128°C 19分钟
 PT blends
 
PT-30: -144°C 22分钟
 PT-16: -156°C 26分钟
 PT-14: -177°C 45分钟
 PT-13: -187°C 61分钟

 PT-30: -128°C 19分钟
 PT-16: -153°C 25分钟
 PT-14: -166°C 35分钟
 PT-13: -179°C 54分钟

 每种混合气体的最大制冷能力

 NF-55: 50 Watts @ -55°C *
 NF-50: 38 Watts @ -89°C *
 NF-48: 26 Watts @ -128°C *
 PT blends
 PT-30: 29 Watts @ -144°C
 PT-16: 23 Watts @ -156°C
 PT-14: 10 Watts @ -177°C
 PT-13: 6 Watts @ -187°C

 PT-30: 32 Watts @ -128 °C
 PT-16: 24 Watts @ -153°C
 PT-14: 15 Watts @ -166°C
 PT-13: 7 Watts @ -179°C

 温度稳定性

 +/- 1.0 K. Performance with
 10’ Gas Lines

 

* NF 表明不易燃的气体。
* 50Hz 操作时冷却性能略低

Polycold PCC 紧凑型深冷泵应用领域:
高分辨率数字成像, 分析化学, 生命科学, 材料分析, 半导体检测, 科学研究及水蒸气低温捕集等, 上海伯东是美国 Polycold PCC 紧凑型深冷泵代理.

 

真空镀膜机加装 Polycold
真空镀膜机(溅镀、蒸镀)一般使用油扩散泵抽真空,腔体内会残留大量水汽和油蒸汽,不但影响抽真空的时间,水汽和油蒸汽还是镀膜工件主要的污染源,从而影响镀膜产品的产量和质量。真空镀膜设备通过加装上海伯东代理的美国 Polycold 冷冻机(水汽深冷泵)在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,真空抽气时间缩短 75%,企业产能可增加 20% 到 100%,Polycold 冷冻机目前已广泛加装在光驰 Optorun、新柯隆 Shincron、莱宝 Leybold 真空镀膜机。

上海伯东 Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用,更加降低了企业成本。与高温烘烤方法对比,高温烘烤只是把水分子从基片表面迁移,使基片减少对水蒸气的吸附,但是水蒸气还是存在于腔体内,依然影响抽气效率。Polycold 冷冻机是将 90% 以上的水分子吸附在低温盘管(Cryocoil)的表面,同时吸附掉真空腔内部分油分子,如果在真空腔水冷阱的上面放置 Polycold 冷阱,不仅能吸抽水汽还可以防止扩散泵返油。
上海伯东Polycold Maxcool4000

目前在售 Polycold 型号:

型号

MaxCool 4000 H

MaxCool 2500 L

PFC-552 HC

PFC-672 HC

PFC-1102 HC *

最大负载 Watts

4,000

2,500

1,000

1,500

3,600

抽水汽效率 l/s

220,000

140,000

50,000

70,000

200,000

极限真空 mbar

7 x 10-8

1 x 10-9

3x10-9

8x10-9

4x10-8

* Polycold PFC-1102 HC 已经停产,替代型号 MaxCool 4000 H

美国 Brooks 旗下 Polycold  冷冻机(水汽深冷泵),超过40年的冷冻机研发及制造经验。Polycold 冷冻机辅助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,帮助企业显著提升产能和镀膜质量。Polycold 冷冻机广泛应用于镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 Polycold 冷冻机代理,全权负责 Polycold 销售.

若您需要进一步的了解 Polycold 详细信息, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )     T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-975-571-910
qq: 2821409400 
www.hakuto-vacuum.cn                        www.hakuto-vacuum.com.tw

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