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Thermonics 超低温冰水机
上海伯东美国 inTEST 旗下 Thermonics® 超低温冰水机, 设计低温 -80.0°C 和超低温 -100.0°C 的冷却, 可以匹配各种热交换液体媒介, 标准或定制机型. 低温冰水机单级压缩机, 级联冷却, 冷凝器水冷或风冷; 可编程的触摸屏, 支持远程通讯. 低温冰水机方便移动操作, 满足高容量的制冷需求, 适用于航天, 汽车, 能源, 工业化学, 半导体等行业.
Thermonics 超低温冰水机: 精密温度控制, 适用于半导体前端和后端的应用, 例如半导体刻蚀设备降温
. 最高冷却功率 30 kW
. 温度范围: -100 至 300 °C, 标准或定制机型
. 适合各种热交换流体
. 风冷和水冷
. 导热流体压力和流量控制
. ISO 9001:2015 和 ITAR 认证
. 可编程的触摸屏
Thermonics 超低温冰水机, 风冷型
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型号 |
温度范围 |
精度 |
冷却能力 kW @ 20°C 供水 |
泵抽速 |
资料下载 |
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25 |
0 |
-20 |
-40 |
-45 |
-60 |
-70 |
-80 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
6.6 |
6.6 |
4.0 |
1.1 |
0.5 |
- |
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15 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
9.5 |
9.5 |
5.4 |
1.9 |
0.7 |
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23 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
14.5 |
14.5 |
9.6 |
2.7 |
1.2 |
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38 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
3.9 |
3.9 |
3.6 |
3.1 |
3.0 |
2.7 |
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11 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
4.6 |
4.6 |
3.7 |
3.5 |
3.4 |
3.0 |
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23 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
6.7 |
6.7 |
6.1 |
5.3 |
5.1 |
4.6 |
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30 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
2.3 |
2.3 |
2.2 |
2.1 |
2.0 |
1.8 |
1.5 |
0.5 |
11 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
3.4 |
3.5 |
3.1 |
2.8 |
2.7 |
2.3 |
2.1 |
1.7 |
23 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
5.0 |
5.1 |
4.5 |
3.9 |
3.8 |
3.3 |
3.1 |
2.4 |
30 |
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Thermonics 超低温冰水机, 水冷型
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型号 |
温度范围 |
精度 |
冷却能力 kW @ 20°C 供水 |
泵抽速 |
资料下载 |
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25 |
0 |
-20 |
-40 |
-45 |
-60 |
-70 |
-80 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
8.0 |
8.0 |
4.6 |
1.1 |
0.6 |
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15 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
10.0 |
10.0 |
6.0 |
2.0 |
1.0 |
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23 |
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-40 至 +50 |
±0.5 |
15.5 |
15.5 |
10.0 |
3.1 |
1.4 |
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38 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
4.0 |
4.0 |
3.7 |
3.2 |
3.1 |
2.8 |
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11 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
4.7 |
4.7 |
4.3 |
3.7 |
3.6 |
3.1 |
1.1 |
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23 |
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-60 至 +50 |
±0.5 |
6.8 |
6.8 |
6.2 |
5.4 |
5.2 |
4.7 |
4.0 |
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30 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
2.5 |
2.5 |
2.3 |
2.1 |
2.0 |
1.8 |
1.6 |
0.6 |
11 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
3.5 |
3.5 |
3.2 |
2.9 |
2.8 |
2.4 |
2.2 |
1.8 |
23 |
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-80 至 +50 |
±0.5 |
5.1 |
5.1 |
4.5 |
4.0 |
3.9 |
3.4 |
3.2 |
2.5 |
30 |
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* 所有水冷和风冷型号液体压力是 50 PSIG 或更少
* -40 和-60°C 的低温性能使用 Syltherm XLT 热传导液. -80°C 的性能使用 hfe - 7100 热传导液
* 如果需要使用其他类型热传导液或流速, 请联络上海伯东
Thermonics 超低温冰水机典型应用
1. 半导体行业: 在离子注入机中冷却硅片夹
2. 燃料电池能源: 低温冷却进入储罐的废气, 从废气中冷凝和分离二氧化碳
3. 科研领域: 在一个压力容器中, 加热和冷却铜块
Thermonics® 制冷机主要应用于能源, 化学工艺, 工业和半导体制造, 例如如下:
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制冷机类型 |
冷却方式 |
Max.Capacity |
温度范围 |
导热介质 |
应用市场 |
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传导液制冷 |
水冷 |
5kW @ -20°C |
-40 至 25°C |
Syltherm XLT |
化学 |
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传导液制冷 |
水冷 |
2.5kW @ -60°C |
-60 至 25°C |
Syltherm XLT |
化学 |
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传导液制冷 |
风冷 |
270W @ -50°C |
-50 至 120°C |
HFE-7500 |
半导体 |
|
传导液制冷 |
风冷 |
300W @ -80°C |
-80 至 200°C |
Syltherm XLT |
国防 |
|
传导液制冷 |
风冷 |
3KW @ -60°C |
-60 至 20°C |
KRYO 60 |
能源 |
|
气体制冷 |
风冷 |
-100 °C @ 8 scfm |
-100 °C至空气 |
清洁,干燥空气 |
工业 |
|
传导液制冷 |
水冷 |
2.2KW @ 20°C |
-50 至 40 °C |
HFE-7500 |
半导体 |
|
传导液制冷 |
水冷 |
12KW @ 15°C |
-15 至 20 °C |
PGW (25%) |
半导体 |
|
气体制冷 |
风冷 |
-90°C @ 18scfm |
-90 至 225 °C |
清洁,干燥空气 |
汽车 |
|
传导液制冷 |
风冷 |
1.5 KW @ -30 °C |
-40 至 50 °C |
Syltherm XLT |
工业 |
|
传导液制冷 |
水冷 |
3.3KW @ -50°C |
-50 至 20 °C |
Syltherm HF |
汽车 |
Thermonics 低温冰水机原理:
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Thermonics 超低温冰水机在半导体行业中的应用
前端 Front End
离子注入 Ion Implant
蚀刻设备 Etch: 降温晶圆,
沉积设备 Deposition
后端 Back End
各种测试处理 Final Test Handlers:
举例: Thermonics 冰水机将制冷液体泵入测试设备进行半导体器件的冷态测试, Thermonics 冰水机可与各类半导体测试设备联用.
美国 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低温冰水机和 -120°C 超低温冰水机用于冷却工艺过程中的气体和液体. 型号包含低温液体冰水机, 超低温气体冰水机和超低温液氮, 液态二氧化碳制冷机. Thermonics 低温冰水机可选水冷或气冷, 并与各种导热液体兼容. 满足各种超低温工艺冷却需求, 广泛应用于化学, 能源, 半导体, 汽车等领域. 上海伯东是美国 Thermonics 超低温冰水机中国总代理.