全自动离子刻蚀机 MEL 3100
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全自动离子刻蚀机 MEL 3100

全自动离子刻蚀机 MEL 3100
伯东公司日本原装进口全自动离子刻蚀机 MEL 3100, 蚀刻速率 >10(nm/min), 均匀性 ≤±5%, 全自动化系统减少人工操作, 保证产品高稳定性和高质量. 减少因人工操作带来的损失!

全自动离子刻蚀机 MEL 3100 特性
全自动化系统
清洁: 钛用于经常暴露于离子束的零件, 以产生低粒子. 晶圆输送盒采用空气过滤器.
占地面积小, 方便维护
10.4英寸触摸屏
配置德国 Pfeiffer 分子泵.
全自动离子刻蚀机 MEL 3100

全自动离子刻蚀机 MEL 3100 技术规格.

型号

MEL 3100

样品数量尺寸

3”φ-6”φ,1片

晶圆输送盒

1个, 25 片晶圆

极限真空

8x10-5 Pa

均匀性

≤±5%

蚀刻速率

>10(nm/min) @SiO2

 

离子刻蚀机

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伯东公司超过 50年的离子刻蚀市场经验, 拥有庞大的安装基础和经过市场验证的刻蚀技术!

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