普发氦质谱检漏仪

涡轮分子泵应用于角分辨光电子能谱 ARPES
角分辨光电子能谱 Angle resolved photoemission spectroscopy 简称 ARPES 利用光电效应研究固体的电子结构. 光电子在真空飞行的过程中, 被一个接受角度很小的能量分析器收集计数. 角分辨光电子能谱主要由光源, 电子分析器, 样品控制台以及超高真空的获得和维护系统组成. 上海伯东普发 Pfeiffer 分子泵广泛配套在真空系统已保证超高真空的获得, 同时搭配 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPlus 共同使用.

上海伯东 ARPES 光束线客户案例: 某光源 ARPES 光束线真空系统, 真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分, 只有在真空环境中运行, 光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站, 真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度, 保证光束线的稳定运行. 此系统搭配伯东 Pfeiffer 分子泵 HiPace 80, Hipace 300 及配套真空规.

真空系统要求 ( 分子泵 ) :
1. 静态真空 ( 无束流 ): 5x10-8 Pa,动态真空(有束流): <5x10-7 Pa
2. 真空系统基本配置: 离子泵 + 无油分子泵 + 冷阴极真空规管 + 气体分析仪

超高真空系统配置:

	涡轮分子泵 HiPace 300 接口: DN 100 CF-F 极限真空: < 5X10-10 mbar 氮气压缩比: > 1X1011
	涡轮分子泵 HiPace 80 接口: DN 63 CF-F 极限真空: < 5X10-10 mbar 氮气压缩比: > 1X1011
	残余气体分析仪 PrismaPro 质量数: 1-300 amu 四极杆直径／长度: 6 /125 mm 最大工作压力 F hPa: 5X10-4

上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 3000 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴磁悬浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 

Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 系列获得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 认证. 特别适用于质谱分析, 电子显微术, 测量技术, 粒子加速和等离子体物理方面的应用. 除了用于分析, 真空工艺和半导体技术外, 还可用于真空镀膜, 研发以及工业领域. 推荐分子泵典型应用 >>

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上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐
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