普发氦质谱检漏仪

超薄纳米涂层等离子表面处理设备
上海伯东代理比利时 Europlasma 等离子机, 真空条件下, 通过工艺 Nanofics ® 或 PlasmaGuard® 在材料浅表面实现低压等离子表面聚合或者原子层沉积, 从而赋予材料新的功能, 不影响材料本身的性能, 对三维结构以及复杂形状的材料表面都可实现均匀性涂覆, 形成疏水, 疏油, 亲水等功能的超薄纳米涂层, 厚度从 5nm 至 500nm 不等. 典型应用: 微流控芯片内流道表面处理.

超薄纳米涂层等离子表面处理设备型号:

型号	腔体体积	腔体尺寸	托盘数量	托盘尺寸	托盘可用面积	前驱体数量
Junior Nanofics®	50L	500mm x 400mm x 250mm	1	360mm x 360mm x 40mm	0.12㎡	1
CD 600 Nanofics®	282L	900mm x 570mm x 550mm	3	765mm x 512mm x 40mm	0.39m²	1
CD 1000 Nanofics®	490L	1000mm x 700mm x 700mm	3	858mm x 672mm x 40mm	0.58m²	1
CD 600 PlasmaGuard®	282L	900mm x 570mm x 550mm	3	765mm x 512mm x 40mm	0.39m²	3
CD 1000 PlasmaGuard®	490L	1000mm x 700mm x 700mm	3	858mm x 672mm x 40mm	0.58m²	3
CD 1836 Nanofics®	1836L	1600mm x 850mm x 1350mm	4（垂直）	760mm x 270mm x 1060mm	0.22m²（卡槽）	1

超薄纳米涂层等离子表面处理设备设计
控制系统: 工业 PLC 与17英寸触摸屏
过程与仪表图(P&ID): 实时显示设备状态
用户管理: 基于用户级别的登录, 对于操作员来说,工程师模式接入
配方管理: 配方数量不限, 工艺参数独特
系统诊断功能: 用于故障处理和维护
报警管理: 系统对警报进行管理并提醒操作人员
发电机: 具有自动负载匹配能力, 频率 13.56 kHz
真空测量: 高质量的真空测量设备
气体管道: 多个气体管道, 适用于各种工艺气体 (O2, N2, Ar, CF4, He, H2 等)
气体截止阀: 每条气体管路上的截止阀, 防止泄漏
质量流量控制器: 用于气体控制的电子调节质量流量控制器
节流阀: 自动控制所需的压力-流量比
洗涤系统: 废气过滤
CE 认证

上海伯东 Europlasma 等离子表面处理设备主要应用
1. 薄膜过滤: 锂电池行业, 精密仪器等的疏水, 疏油涂层, 驻电极
2. 无纺布和功能性纺织物: 运动户外产品的疏水, 疏油涂层
3. 可穿戴电子产品, 无线耳机, 手环, 手表, 助听器和 PCB 元器件疏水涂层, 电子屏蔽涂层, 蚀刻, 清洗与活化
4. 医疗, 生命科学领域的微流控芯片疏水涂层, 医用导管, 口罩, 针座活化, 人体植入, 细胞培养瓶活化. TC 处理.

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上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161
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M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-975-571-910
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