普发氦质谱检漏仪

Pfeiffer 高压质谱分析仪 HPA 220
上海伯东销售维修德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220，可协助客户选型并提供售后服务。质谱分析仪新款上市，适合于所有的应用特别是高压应用。

德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220 组成：
l 四级质谱分析仪
l 手动或自动控制进样阀门
l 分子泵 HiPace 80 和控制器 TC 110 RS
l 前级泵 MVP 020-3
l 标准真空腔体
l 全量程真空计 PKR 251
l 阀门控制单元 VCU 220
l 分子泵显示器
l 软体：Quadera + HPA Add-In
l 连接法兰 DN 40 CF-F
l 电源：115 – 230 V AC, 50/60 Hz

可选的附加组件：
1.腔体加热装置 2.分子泵控制单元 DCU 002 3.定制软体 4.其他全量程真空规

 

德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220 优点：
l 此款质谱分析仪操作组装灵活，适用各种压力范围
l 简单的系统集成 模组式组装
l 高灵敏度 多路传输操作
l 操作直观 提供广泛的应用

德国普发高压质谱分析仪 Pfeiffer HPA 220 应用行业：
在一个压力范围内（1 x 10-7到50 hPa）进行过程分析、监控
1.真空镀膜行业 2.半导体行业 3.光刻行业 4.冶金行业 5.真空炉 6.实验研究

质谱分析仪 技术参数：

质量数（可选）	1-100 amu	1-200 amu			1-300 amu
质谱分析仪	QMA 220
前级泵	MVP 020-3
电源线长度（可选）	3m			10m
检测	C-SEM/Faraday
C-SEM 最小检测极限	1X10-14 hPa
Faraday 最小检测极限	5X10-12 hPa
压缩空气	5-7 bar
进气法兰	DN 40 CF-F
工作压力（可选）	1 hPa		8hpa			50hpa
四级杆直径/长度	6 mm/ 100 mm
C-SEM 精度	200 A/hPa
Faraday 精度	5X10-4 A/hPa
电源	115-230 V
重量	15 kg

质谱分析仪 尺寸图：



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