Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 / 冷冻机阅读数: 18740
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵
上海伯东代理美国 Edwards 旗下 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷冻机,利用低温冷媒(-100度)通过盘管,将水蒸气吸附在冷盘上,快速吸附占真空腔内残留气体 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 4000 H 冷冻机抽水气效率高达 220,000 l/s,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,目前 Polycold 冷冻机主要应用于半导体和真空镀膜行业,客户通过使用 Polycold 水汽深冷泵,产能可增加 20% 到 100%。MaxCool 4000 H 深冷泵提供单管路和双管路配置满足您的不同应用,可搭配伯东德国 Pfeiffer 分子泵,罗茨泵,干泵和美国 KRI 考夫曼离子源共同使用。冷冻机 Polycold MaxCool 4000 H 是旧款型号PFC-1102 HC全新升级款!~
Polycold 冷冻机应用:
Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用,大大降低了企业成本。Polycold 冷冻机主要应用于真空镀膜(溅镀、蒸镀)、半导体(晶圆加工)行业。
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵优点:
低温范围:-98 至 -133C
真空抽气时间缩短 75%
高效的抽水汽效率:327,800 到 220,000 l/s
产品产量提高 20% 到 100%
在工艺过程中降低水蒸汽的分压力,从而获得更高质量、更好的附着力、和多重沉积膜特性
相对于液氮制冷 LN2,Polycold 冷冻机选用无毒、环保型冷媒,可循环使用
低功率,低能耗,最大负载 4000 W
Polycold MaxCool 冷冻机组成:
A:Polycold 冷冻机主机(铜环和轮子可以选配,方便运输)
B:外部冷凝管(外部连接管)
C:Feedthrough
D:真空腔
E:冷盘(低温盘管)
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技术参数:
标准性能 |
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最大负载:Watts |
4000 |
抽水汽效率(理论值):l/s |
327,800 |
保守抽速:l/s |
220,000 |
极限真空:mbar |
7 x 10-8 |
启动压力:atm |
1 |
除霜时间:分钟 |
5.5 |
低温盘管,连接管路 |
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盘管表面面积:m2 |
2.2 |
单管路: |
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双管路: |
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标准外部连接管长度:m |
2.44 |
配套设施 |
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冷却水流量:rate l/min. 29 C˚ |
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功率 kW |
19.2 |
工作噪音(最大):db |
78 |
占地空间(最小):m3 |
34 |
重量:kg |
533 |
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 抽水汽效率:
Edwards 旗下 Polycold 冷冻机(水汽深冷泵),超过40年的冷冻机研发及制造经验。Polycold 冷冻机辅助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,帮助企业显著提升产能和镀膜质量。Polycold 冷冻机广泛应用于镀膜和半导体厂商。上海伯东是美国 Polycold 冷冻机代理,全权负责 Polycold 销售服务.
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