上海 Hakuto 离子蚀刻机
Hakuto 日本原装设计制造离子刻蚀机 IBE, 提供微米级刻蚀, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料,黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯东已累计交付约 500套离子蚀刻机. 蚀刻机可配置德国 Pfeiffer 涡轮分子泵和美国 KRI 考夫曼离子源!
伯东公司超过 50年的刻蚀 IBE 市场经验, 拥有庞大的安装基础和经过市场验证的刻蚀技术!
Hakuto 离子蚀刻机
伯东离子蚀刻机对磁性材料, 黄金, 铂和合金金属提供蚀刻技术. 适合做各种材料的蚀刻.
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型号 |
4 IBE |
7.5 IBE |
16 IBE |
20 IBE-C |
MEL 3100 |
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样品数量尺寸 |
4”φ, 1片 |
4”φ, 1片 |
6”φ, 1片 |
4”φ, 6片 |
3”φ-6”φ,1片 |
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均匀性 |
≤±5% |
≤±5% |
≤±5% |
≤±5% |
≤±5% |
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