电子束蒸发镀膜机 E-Beam
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电子束蒸发镀膜机 E-Beam

电子束蒸发镀膜 E-Beam
上海伯东代理 E-Beam 电子束蒸发镀膜机 ( 电子蒸镀 ), 最大真空度可达 5E-10 torr, 提供客制化服务.

电子束蒸发镀膜机

 推荐设备型号: EBS-150
 标准的设计, 左边 load lock 腔体, 包含氧化和蚀刻过程; 
 右边沉积腔内含一个电子束, 适用于约瑟夫森结,
 特性:
 真空度 5E-8 torr
 最大 8inch 样品
 基本可倾斜 / 旋转
 可选 IBAD
 全自动
 腔室水冷

 

 型号 EBS-150 UHV
 特性:

 真空度 5E-10 torr
 最大 6inch 样品
 基本可倾斜 / 旋转
 可选 IBAD
 全自动
 腔室水冷

 

电子束蒸发

 型号 EBS-300 Dual
 特性:

 真空度 5E-7 torr
 行星机械手
 双 E-gun
 全自动加工
 软件控制


E-Beam 电子束蒸发适用于
Lift-off 工艺
HMET, PHMET 晶体管
Ohmic and Schottky contacts on GaN 氮化镓基片欧姆和肖特基接触
IR waveguides 红外波导
Thermal barriers 热障
Magnetic materials for microwave applications 磁性材料微波应用
MEMS 封装
超导隧道结


上海伯东代理电子束蒸镀设备,专精于金属及氧化物薄膜的制备, 可用于超导量子实验室制备超导结 ( 量子比特和约瑟夫森结 ) 和量子器件, 可以制备大面积, 高稳定性和可重复性超导结. 电子束蒸发设备提供客制化服务, 满足各类不同真空系统整合需求!

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