电子束蒸发镀膜机 E-Beam

上海伯东代理各类溅射镀膜机, 蒸发镀膜机, ALD, PEALD, PECVD, OLED, MBE, E-beam 等设备, 满足研发和工业生产的高质量薄膜要求,

电子束蒸发镀膜机 E-Beam

 EBS-150
 真空度 5E-8 torr, 最大 8inch 样品

电子束蒸发

 EBS-150 UHV
 真空度 5E-10 torr, 最大 6inch 样品

 EBS-300 Dual
 真空度 5E-7 torr, 双 E-gun

金属热蒸镀设备 Metal Thermal Evaporation System

上海伯东代理的金属热蒸镀设备加装美国 KRI 离子源, 可以精准的控制蒸发速度, 为客户提供品质保证的复合式薄膜, 且薄膜的厚度和均匀度小于+/- 3%.

电子束蒸镀设备 E-beam Evaporation System

上海伯东代理电子束蒸镀设备可针对量产使用单一大坩埚也可以有多个坩埚来达到产品多层膜结构, 在基板乘载上我们对应半导体研究和大型设备设计, 单片和多片公自转的设计, 薄膜厚度和均匀度小于 +/- 3%.

有机材料热蒸镀设备 OLED, OPV

上海伯东针对薄膜封装推出电浆辅助式化学气相沉积, 原子层沉积和聚对二甲苯沉积等三种设备, 且使用低温的沉积技术, 分别在 OLED 上堆叠多层薄膜, 广泛应用于有机发光二极体, 有机光伏打电池和材料科学研究

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