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上海伯东氦质谱检漏仪超高真空阀门检漏
上海伯东代理德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340W 助力国产超高真空阀门研发和生产, 超高真空阀门标准漏率一般是 10-9 mbar l/s, 通过使用检漏仪 ASM 340W 协助研发, 阀门真空模式下漏率达到了 10-11 mbar l/s, 成功对标进口品牌超高真空阀门, 实现了技术层面的突破!
氦质谱检漏仪超高真空阀门检漏解决方案
阀门的密封性能是考核其品质优劣的主要指标之一. 所以在设计生产阀门时就要提高阀门的密封性能, 上海伯东推荐使用氦质谱检漏仪 ASM 340W 真空模式(负压)检漏.
1. 待检漏真空阀门通过波纹管与氦质谱检漏仪进气口相连. 设置真空模式下漏率值.
2. 用喷枪向疑似有漏的地方连续喷射氦气. 如果有漏, 氦气通过漏孔进入检漏仪并被检测,
3. 通过此方法, 可以快速定位定量泄漏点, 操作非常简单
氦质谱检漏仪 ASM 340W , 内置高压缩比分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 80 对氦气抽速 2.5 l/s, 检测时间更短 (增强了清除氦本底的能力); 在 100 hPa 即可进行大漏测试的氦质谱检漏仪.
型号 |
ASM 340 W |
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真空模式下,对氦气的最小检测漏率 |
5E-13 Pa m3/s |
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检测模式 |
真空模式和吸枪模式 |
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检测气体 |
4He, 3He, H2 |
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启动时间 min |
3 |
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对氦气的抽气速度 l/s |
2.5 |
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进气口最大压力 hPa |
25 |
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前级泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
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重量 kg |
56 |
经过检漏后的真空阀门, 广泛用于半导体, 工业, 科研精密仪器制造中的各类超高真空系统, 经过试验, 成功替代进口超高真空阀门, 打破进口垄断的市场格局.
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