普发氦质谱检漏仪

Busch 普旭干式螺杆真空泵 COBRA DS 0700–2000 G
上海伯东代理 Busch 普旭干式螺杆真空泵 COBRA DS 0700–2000 G, 抽速 500 m³/h 至 1365 m³/h, 采用干式和非接触式工作原理, 高抽氢速率, 适用于光伏电池, 平板显示器, 半导体生产等高要求工艺以及众多工业镀膜应用.

Busch 普旭干式螺杆真空泵 COBRA DS 特点
适用于高要求工艺的新一代干式真空泵
先进的螺杆设计
采用干式和非接触式工作原理
出色的粉末处理能力
高效的间接水冷
紧凑的就地安装设计
高抽氢速率
高效率电机
尺寸丰富并配备集成罗茨泵

Busch 普旭干式螺杆真空泵 COBRA DS 0700–2000 G 规格

技术参数	COBRA DS 0700 G	COBRA DS 1000 G	COBRA DS 2000 G
额定抽速	500 m³/h	775 m³/h	1365 m³/h
极限压力	0.003 hPa (mbar)	0.003 hPa (mbar)	0.003 hPa (mbar)
前级泵电机额定功率	4.0 kW	4.0 kW	5.5 kW
罗茨真空泵电机额定功率	4.0 kW	4.0 kW	5.5 kW
功耗（怠速模式）	3.0 kW	3.3 kW	5.6 kW
极限压力时的功耗	3.0 kW	3.3 kW	5.6 kW
前级泵电机额定转速	3000 min⁻¹	3000 min⁻¹	3000 min⁻¹
罗茨真空泵电机额定转速	3000 min⁻¹	3000 min⁻¹	3000 min⁻¹
声压级（ISO 2151），KpA = 3 dB	< 62 dB(A)	< 62 dB(A)	< 68 dB(A)
耗水量	5.0 l/min	5.0 l/min	5.0 l/min
氮气消耗量	0 – 75 l/min	0 – 75 l/min	0 – 75 l/min
重量（约）	445 kg	576 kg	668 kg
尺寸（L x W x H）	865 x 385 x 917 mm	1034 x 425 x 1017 mm	1063 x 465 x 1069 mm
进气口	DN 63	DN 100	DN 160
排气口	DN 40	DN 40	DN 40

Busch 普旭干式螺杆真空泵 COBRA DS 0700–2000 G 应用
沼气处理: 升级 - 变压吸附
平板显示器生产: 等离子体增强化学气相沉积 (PECVD); Load lock 腔体;有机发光二极管 (OLED); 物理气相沉积（PVD）
锂离子电池生产: 脱气
半导体生产: 中型, 严苛, 轻型
太阳能发电行业: 等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)

不同行业和应用有不同的真空需求, 上海伯东是一家不仅销售各类高端精密仪器设备的公司, 更是针对不同的客户提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新项目应用的公司!

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