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上海伯东 Pfeiffer 干式真空泵 (多级罗茨泵) ACP 15 G 为气体水分仪提供洁净真空环境
利用光谱技术的超高精度高纯气体微量水分仪, 作为一种测量手段, 可以提供高精度的, 可靠的微量气体定量分析. 气体水分仪测试时需要在真空度 45 torr 以下工作, 并且分析的气体有时会有腐蚀性, 且整个分析过程, 不能受到外界的污染, 经过上海伯东推荐, 采用 Pfeiffer 干式真空泵(多级罗茨泵) ACP 15 G 为气体水分仪提供洁净的真空!
干式真空泵 ACP 15 G 在气体水分仪应用中的优势
提供洁净干燥真空环境, 无颗粒状污染物
可持续解决方案, 低能耗, 变频器驱动电机提供恒定的转速, 实现稳定的抽速和一致的极限压力
可处理可凝性蒸汽, 耐微量腐蚀
风冷设计,无供水方面的安装和运营成本
符合 CE 标准，获得 UL/CSA 认证以及 SEMI S2 认证
干式真空泵 ACP 15 G 主要参数
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型号 |
数值 |
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参考图片 |
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进气法兰 |
DN 25 ISO-KF |
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输入电压 |
110 至 230 V AC (±10 %), 50/60 Hz |
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最高氦泄漏率 |
5X10-7 hPa l/s |
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最终压力下的功耗 |
450 W |
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无气镇或吹扫的典型最终压力 |
5X10-2 hPa |
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抽速 |
14 m³/h |
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最高连续进气压力 |
1013 hPa |
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最高排气压力 |
1200 hPa |
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最终压力 |
5X10-2 hPa |
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排放声压级 (EN ISO 2151) |
63 dB(A) |
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典型的最终压力, 带氮气吹扫, 50 Hz |
3X10-1 hPa |
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不含气镇或吹扫的最终压力, 最大值 |
5X10-2 hPa |
Pfeiffer 干式真空泵(多级罗茨泵) ACP 应用场景
分析仪器: 电子显微镜, 表面分析仪, 检漏仪, 质谱仪, 光谱仪
研发及科研: 粒子加速器, 涡轮分子泵组,实验室
工业: 灯具制造, 真空镀膜, 低温泵再生, 等离子清洗, 干燥, 预载真空
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