上海 应用讯息
Aston 质谱分析仪搭配 Scrubber 半导体尾气处理设备进行气体检测
半导体工艺一般会产生各种工艺气体和颗粒材料副产品, 有害气体需要以受控方式进行处理. 上海伯东日本 Atonarp Aston 质谱分析仪与 Scrubber 半导体尾气处理设备联用, 对处理完的气体在线监测分析, 并对分析数据进行监控和记录, 使其符合环境法规.
上海伯东 Aston™ 质谱分析仪半导体尾气检测解决方案
Aston 质谱仪与半导体尾气处理设备排气端相连, 半导体废气处理设备 Scrubber 排出的气体先经过水洗塔内进行喷淋水洗溶解, 带走一些毒性腐蚀性排放物, 然后在使用 Aston 进行剩余气体检测和分析, 主要检测 N2O 浓度等, 使其符合国际减排指标.
使用 Aston™ 质谱分析仪优势
体积小, 便于携带, 整机重量仅 13.7 KG
与 GCMS 测试对比, 时时检测, 不用特别取样, 实现快速地减排气体监测
可以根据进入的废气浓度和测量的排放气体数据, 记录日志
能够承受严酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl ）气体
低至 PPB 水平的灵敏度
Aston 质谱仪技术参数
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质量分辨率 |
0.8 u |
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质量稳定性 |
0.1 u |
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灵敏度(FC / SEM) |
5x10-6 / 5x10-4 A/Torr |
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检测极限 |
10 ppb |
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最大工作压力 |
1X10-3 torr |
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每单位停留时间 |
40 ms |
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每单位扫描更新率 |
37 ms |
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发射电流 |
0.4 mA |
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发射电流精度 |
0.05% |
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启动时间 |
5 mins |
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离子电流稳定性 |
< ±1% |
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浓度的准确性 |
< 1% |
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浓度稳定性 |
±0.5% |
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电力消耗 |
350W |
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重量 |
13.7 Kg |
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尺寸 |
400 x 297 x 341 mm |
Aston™ 是一款全新设计坚固耐用的紧凑型在线质谱仪, 适用于半导体制造和工业过程控制应用中气体监测和控制, 高定量精度和实时性与生产稳健性和可靠性相结合, 例如半导体 dry pump 尾气侦测分析, 实现在线监控, 诊断.
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上海伯东: 叶小姐 台湾伯东: 王小姐
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