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德国 DREEBIT 离子源 Dresden ECRIS-2.45M
Dresden ECRIS-2.45M 离子源是一种产生低电荷单粒子的电子回旋共振离子源, 根据离子种类, 离子束范围 10 微安到几毫安.
德国 DREEBIT 离子源 Dresden ECRIS-2.45M 技术资料
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功率 |
200W |
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最大电子能量 |
30 kV, 10 mA |
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extraction potential |
6 kV, 50 mA |
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lens potential |
30 kV, 10 mA |
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长度 |
460 mm |
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直径 |
340 mm |
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重量 |
35 kg |
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beamline flange |
DN 160 CF |
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电力消耗 |
2 kW |
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冷却 |
风冷, 不需要水冷 |
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真空条件 |
5X10-8 mbar (1X10-5 mbar with working gas) |
