普发氦质谱检漏仪

光电子能谱仪 XPS
上海伯东代理 ULVAC-PHI 爱发科费恩斯光电子能谱仪 (XPS) PHI GENESIS 500, 适用于科学研究和高科技产业等领域, 包括材料科学, 能源科学, 半导体器件, 微电子器件以及表面处理和表面异常检测等.

什么是光电子能谱仪 XPS
XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy),又称 ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis),是利用 X射线入射样品表面, 探测样品表面出射的光电子,来获得表面组成及化学态信息的一种表面分析方法. XPS 可对元素成分进行定性定量分析,同时通过微聚焦扫描技术可以实现微米级空间分辨能力.

光电子能谱仪 XPS 应用场景
上海伯东代理的光电子能谱仪 XPS 适用于科学研究和高科技产业等领域, 包括材料科学, 能源科学, 半导体器件, 微电子器件以及表面处理和表面异常检测等.

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