普发氦质谱检漏仪

俄歇电子能谱仪 AES
上海伯东代理俄歇电子能谱仪 PHI 710 适用于半导体器件, 微电子器件和材料科学等研究.

什么是俄歇电子能谱仪 AES
AES (Auger Electron Spectroscopy) 是利用电子束电离激发原子内层电子, 探测退激发过程出射的俄歇电子, 获得样品表面的组成及化学性质的分析方法. AES 不仅表面灵敏, 而且具有纳米级的空间分辨率, 因此广泛应用于半导体器件, 微电子器件和材料科学等研究.

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