普发氦质谱检漏仪

动态二次离子质谱仪（D- SIMS）
上海伯东代理 ADEPT-1010 专为浅层半导体注入和绝缘薄膜的自动分析而设计, 是大多数半导体开发和支持实验室的常用工具. 通过优化的二次离子收集光学系统和超高真空设计, 提供了薄膜结构检测中的掺杂组分和常见杂质所需的灵敏度.

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