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上海伯东残余气体分析仪 RGA 真空应用
残余气体分析 RGA 是一种质谱分析技术, 用于研究真空中的残余气体. RGA 质谱仪可以识别和量化气体中的化学成分, 并确定压力, 温度和其他参数.
在许多应用中, 用户都会面临真空设备的清洁度问题. 了解残余气体的成分对于过程监控也非常重要. 真空压力测量可以提供真空室中残留污染物的数量, 但无法提供污染物的种类. 上海伯东残余气体分析仪 (四极杆质谱仪) 可用于进行残留气体分析, 确认腔室中残留的污染物种类.
残余气体分析 RGA 是如何工作的？
与所有质谱仪一样, 残余气体分析(四极杆质谱仪 )QMS 由三部分组成：离子源, 分析器和检测器. 四极杆质谱仪的所有组件都需要高真空才能工作. 中性气体粒子在离子源中电离. 常见的电离方法是电子撞击电离.
以这种方式产生的离子在进入带有四极电场的分析仪之前, 要先通过萃取透镜. 利用高频变化电压和直接电压组成的电压, 在 4 根高精度金属棒内产生电场. 这个四极场是根据离子的质量电荷比进行离子分辨的地方.
因此, 只有特定质量电荷比的离子才能通过金属棒系统, 到达检测器. 所有其他离子都位于不稳定的轨道上, 并在仪器中被分辨出来. 探测器的最简单形式是一个被称为法拉第杯的导电空心体. 离子通过释放电荷被中和, 由此产生的电流被检测到.
就信号强度而言, 法拉第杯足以在高真空环境中进行残余气体分析. 在超高真空范围内存在极小离子电流或需要快速测量时, 通常会使用二次电子倍增器 (SEM). 利用这样的质谱装置, 用户可以检测出真空系统中还存在哪些物质.
真空要求: 压力小于 10-4hPa 的压力, 离子才能通过带有电动四极杆的分析仪. 这些压力是确保平均自由路径足够长的必要条件, 以便离子按其轨迹到达检测器, 而不会在途中发生碰撞. 要达到必要的真空压力, 理想的方法是将前级泵和涡轮泵组合起来使用, 既可以是模块化的, 也可以是即用型真空系统. 针对不同压力范围开发的进气系统, 可使用户根据残余气体分析(四极杆质谱仪 ) 精确调节压力. 由于残余气体分析(四极杆质谱仪 ) 在过高的压力下使用可能会损坏, 因此建议集成总压测量功能.
上海伯东残余气体分析仪 RGA 真空应用: 四极杆质谱仪的潜在用途非常广泛, 因此应用选项也非常多, 鉴于需要再真空下使用, 上海伯东推荐合适的质谱仪和真空系统.
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质量数 1–300 amu |
抽速 10 - 2300 l/s |
完全干式无油真空 |
抽速 5.5 - 19.5 m³/h |
体积小, 重量轻, 能耗低, 对水蒸气环境抽气真空度更优 |
残余气体分析仪应用于高温真空炉, 实现质量保证和过程优化
推荐质谱型号: 上海伯东德国 Pfeiffer Hicube RGA 残余气体分析仪
客户案例: 残余气体分析仪直接与高温真空炉连接, 测试产品在不同温度下挥发的产物变化, 进一步分析产品的耐用性以及使用形态. 实现真空过程相关的质量控制.
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